621.38
Л 72
Лозовский В.Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: учеб. пособие для студ. вузов / В.Н.Лозовский, Г.С. Константинова, С.В. Лозовский. - СПб.: Изд-во «Лань», 2008. - 336 с.


Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития.
Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальности «Нанотехнологии в электронике».

 

В начало раздела